Equipements

• 2 Machines d'épitaxie par jets moléculaires (EJM) : 1 EJM sources gaz -GSMBE- Alliages GaInAsP/InP (éléments V, P et As) et 1 source solide  - SSMBE- (éléments V As/P/Sb/N), alliages AlGaInAsPSbN.
  
  
  
• 1 chambre de croissance LPCVD Si couplée à la chambre SSMBE III-V.
  

• Process de composants en salle blanche comprenant des installations de dépôt et de lithographie par usinage chimique, électrochimique et ionique. Centrale Nanorennes : http://nano-rennes.insa-rennes.fr/
  

• Découpe, mise en forme, soudure d'échantillons ou composants.

• Luminescence (4K-300K), spectroscopie, ellipsométrie spectroscopique (en partage avec la centrale Nanorennes).

• Mesures des propriétés électriques, magnétiques, de transport électronique, de spectroscopie capacitive.

• Lasers à impulsions femtosecondes dans le visible et le proche infrarouge, OPO (amplificateur optique paramétrique) pour analyse de phénomènes ultra rapides. Expériences de type "pompe-sonde".

• Appareillage à rayons X, double diffraction X (DDX) et système (thêta, 2 thêta).

• 2 Microscopes à force atomique (AFM).